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内容简介:
硅通孔(TSV)技术是当前先进性**的封装互连技术之一,基于TSV技术的三维(3D)封装能够实现芯片之间的高密度封装,能有效满足高功能芯片超薄、超小、多功能、高性能、低功耗及低成本的封装需求。本书针对TSV技术本身,介绍了TSV结构、性能与集成流程、TSV单元工艺、圆片级键合技术与应用、圆片减薄与拿持技术、再布线与微凸点技术;基于TSV的封装技术,介绍了2.5D TSV中介层封装技术、3D WLCSP技术与应用、3D集成电路集成工艺与应用、3D集成电路的散热与可靠性。
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书籍介绍
硅通孔(TSV)技术是当前先进性**的封装互连技术之一,基于TSV技术的三维(3D)封装能够实现芯片之间的高密度封装,能有效满足高功能芯片超薄、超小、多功能、高性能、低功耗及低成本的封装需求。本书针对TSV技术本身,介绍了TSV结构、性能与集成流程、TSV单元工艺、圆片级键合技术与应用、圆片减薄与拿持技术、再布线与微凸点技术;基于TSV的封装技术,介绍了2.5D TSV中介层封装技术、3D WLCSP技术与应用、3D集成电路集成工艺与应用、3D集成电路的散热与可靠性。
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书籍真实打分
故事情节:9分
人物塑造:8分
主题深度:6分
文字风格:5分
语言运用:3分
文笔流畅:9分
思想传递:5分
知识深度:8分
知识广度:6分
实用性:6分
章节划分:8分
结构布局:5分
新颖与独特:7分
情感共鸣:3分
引人入胜:5分
现实相关:5分
沉浸感:8分
事实准确性:4分
文化贡献:4分