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第1章 电子在固体中的输运

1．1 电子束与固体的相互作用

1．2 电子能量损失峰

1．3 俄歇电子峰

1．4 二次电子峰

1．5 材料的表征

1．6 小结

参考文献

第2章 散射截面：基本原理

2．1 散射截面和散射概率

2．2 阻止本领和非弹散射平均自由程

2．3 射程

2．4 能量歧离

2．5 小结

参考文献

第3章 散射机制

3．1 弹散射

3．1．1 Mott散射截面与屏蔽卢瑟福散射截面

3．2 准弹散射

3．2．1 电子-声子相互作用

3．3 非弹散射

3．3．1 阻止本领：Bethe-Bloch公式

3．3．2 阻止本领：半经验公式

3．3．3 介电理论

3．3．4 Drude函数之和

3．3．5 极化子效应

3．4 非弹散射平均自由程

3．5 界面现象

3．6 小结

参考文献

第4章 数

4．1 伪数的产生

4．2 伪数发生器的测试

4．3 基于给定概率密度的伪数分布

4．4 区间〔a，b〕内均匀分布的伪数

4．5 基于泊松概率密度的伪数分布

4．6 基于高斯概率密度的伪数分布

4．7 小结

参考文献

第5章 蒙特卡罗策略

5．1 连续慢化近似

5．1．1 步长

5．1．2 沉积层与衬底的界面

5．1．3 散射极角

5．1．4 上一次偏转后电子的方向

5．1．5 能量损失

5．1．6 轨迹的结束和轨迹的数目

5．2 能量歧离策略

5．2．1 步长

5．2．2 弹和非弹散射

5．2．3 电子-电子散射：散射角

5．2．4 电子-声子散射：散射角

5．2．5 上一次偏转后电子的方向

5．2．6 透射系数

5．2．7 与表面距离相关的非弹散射

5．2．8 轨迹的结束和轨迹的数目

……

第6章 背散射系数

第7章 二次电子发射系数

第8章 二次电子能量分布

第9章 应用

第10章 附录A：Mott理论

第11章 附录B：Frohlich理论

第12章 附录C：Ritchie理论

第13章 附录D：Chen、Kwei和Li等人的理论

索引

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